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12寸,0.5寸单芯片就足够了。

    为什么不需要额外光罩,因为用的是可以重复使用的光罩库。

    而且在制程上,可以直达3nm!

    一条清晰的脉络瞬间贯通。

    陈飞看着全息影像中的迷你晶圆厂运行,不得不赞叹,这个构思实在太巧妙了。

    如果RB人真的如此做,那么在接下来的竞争中,他们的反扑将会非常凌厉。

    同样的,如果陈飞掌握了这项技术,那么在制程竞争中,就会迅速反超。EUV的波长很短,只有13.5nm,intel和台积电都还没用上EUV呢。但是电子束的波长更短!

    波长短,就更容易开发出先进制程。

    陈飞来回巡视着,最终将目光停留在电子束光刻机上。

    他说道:“教授,电子束光刻机才是关键啊。”

    连学志神色也严肃起来,说道:“是的,电子束很好,但是它太慢了,之前一直只能在实验室中应用。RB人的数据却不同,他们的速度,起码是1分钟1片的速度,太夸张了,我不知道他们是如何做到的。或许他们不是用电子束?”

    说到后面,连学志居然自我怀疑起来。

    陈飞忽然笑了,坚决地说道:“不管RB人是不是用电子束,我已经决定要用它了!我们就走这条路!教授,我需要一支完整的芯片工艺开发团队,您能不能帮我招募,如果您能领衔参与,那就更好了。”

    连学志说道:“电子束的工艺开发,比起光刻来说,容易很多。不过设备这一块,我就不行了。”

    陈飞躬身道:“那就拜托您了。”

    事情终于有了眉目,陈飞稍微松了口气。

    目前所有的问题,都集中在电子束光刻机身上。

    有个好消息就是,国内目前有顶尖的电子束光刻机设备商,虽然是收购来的。

    博康收购了英国NBL电子束光刻机,而且把生产线搬到了国内。

    坦率的讲,陈飞不知道他们是怎么完成此项壮举的。

    不过也不需要了解,只要能买到设备就行了。

    NBL的电子束光刻机,直写的速度同样很慢,事实上目前市面上出售的所有电子束光刻机,直写速度都极慢。

    是极慢!不是慢。比起光刻来,需要的时间,多了最少一百倍。

    但是RB的速度,是1分钟1片,只比普通光刻稍微多了一点,实在太快了,让人不敢相信用的是电子束。这也是唯一矛盾的地方。

    不过陈飞不想深究这个问题,还是那句话,不管RB用的究竟是什么技术,他已经决定用电子束!

    因为相比起其他人,他的最大优势,就是掌控电子和原子的能力。

    哪怕花掉身上所有的灰雾能量和白雾能量,也要将快速电子束光刻机研究出来。

    这项技术,是真正的弯道超车。

    问题主要是,如果真的做出来怎么解释?他不可能同时精通那么多领域,会被人怀疑的。

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